Aké sú súčasti vákuového systému?

Vákuový systém je kompletné priemyselné zariadenie pozostávajúce z vákuového čerpadla, riadiaceho systému programu PLC, zásobníka plynu, vákuového potrubia a ďalších komponentov. Je široko používaný v oblastiach, ako sú elektronické polovodiče, moduly optoelektronického podsvietenia, obrábanie, balenie potravín a lekárske laboratóriá na udržanie stabilného vákuového prostredia na podporu presných výrobných procesov.

 

Systém má modulárny dizajn, integruje riadenie rýchlosti čerpania, vstupnú filtráciu, zobrazenie prevádzkových údajov a rozhranie diaľkového ovládania. Počas-inštalácie na mieste je na prevádzku potrebný iba napájací zdroj a pripojenie potrubia. Plne automatizované riadenie sa dosahuje prostredníctvom riadiaceho systému PLC a dotykového rozhrania človek-stroj. Dokáže automaticky prepínať medzi hlavnými a záložnými skupinami čerpadiel (ako sú skrutkové čerpadlá a Rootsove čerpadlá), aby sa zabezpečila stabilná úroveň vákua. Je vybavený automatickým vypnutím v prípade výpadku prúdu, preťaženia motora a ochrany proti skratu-a podporuje systém obnovy vodíka na zlepšenie bezpečnosti a energetickej účinnosti.

 

V polovodičovom priemysle poskytujú vákuové systémy vákuovo{0}}utesnenú dráhu lúča pre EUV litografiu, čím zabezpečujú stabilný prenos extrémneho zdroja ultrafialového svetla. Používajú sa aj v kritických procesoch, ako je poťahovanie PECVD, vákuové suché leptanie a iónová implantácia, ktoré si vyžadujú požiadavky na čerpanie od čistých až po drsné prevádzkové podmienky a štandardy s ultra-nízkym obsahom pevných častíc. Okrem toho môže systém poskytnúť aj komplexné vákuové riešenia pre výrobu fotovoltaických článkov, konzerváciu potravín, lekárske vybavenie a ďalšie aplikácie.